11、洁净室技术的四大技术要素是：三级过滤、足够的风量、一定的正压和高效过滤器的安装密封。洁净室工程设计的四个基本原则是：防止灰尘进入室内、防止尘粒堆积、室内发生尘粒迅速有效排除以及防止微尘发生。

 

12、影响洁净室洁净度的因素包括：

·  送风的洁净度；

·  送风量；

·  洁净室内进行的活动，即生产人员的活动，也就是他们在生产中所从事工作的性质；

·  洁净室气流型式。

 

13、传统送风方式（非单向流）的洁净室利用的是稀释原理。而单向流洁净室利用的是活塞原理，就是将污染物推出洁净室。按照气流方式，单向流洁净室又有水平送风洁净室和垂直送风洁净室。

 

14、洁净室清洁维护 (Cleanroom Housekeeping) ，就是从洁净室内或洁净区内重要性各不相同的表面，释放出所有的污染物，并把它们收集起来清除掉。

 

15、表面粒子清洁四种要素：

    化学品：将不同的化学品按一定比例配制成清洁溶剂，可获得特定的清洁效果。当溶剂渗入粒子和表面之间时，就会轻轻地把粒子从表面托起，从而减少其附着力。

    温   度：一般而言，温度越高，越容易将粒子清除。

    效   力：是指将粒子从表面清除所需的物理力。

    时   间：某些情况下，如果让溶剂在表面多停留一些时间，洁净效果会更佳。

 

16、清洁程序准则：

·  清洁工作进行时，洁净空调系统必须向洁净室持续供应过滤的洁净空气，以减少污染物传入室内的可能性。同时，进行清洁工作时释放出来的粒子能由排风系统清除。

·  清洁工作人员的卫生及着装要求必须与生产工艺上工作人员的要求相同。

·  清洁设备、工具及用品必须是洁净室专用的，并且在每次带入洁净室前须进行清洁或者消毒。

·  清洁工作应从洁净室中最洁净部分开始、从房间顶部向下进行。

·  每个清洁部位及操作之间必须遵从“单方向部分重叠法”原则。

 

17、洁净室服装(Cleanroom Garment):

   实践证明，人员是洁净室中的最大污染源。因此，减少接触生产工艺的人员数量同时使用专 门设计的洁净室服装(Cleanroom Garment)可以极大地降低扩散到周围空气中的粒子数量。该服 装成 为一道屏障，又被形象地称为“人员过滤器”。

 

18、洁净服装系统(Cleanroom Garment System): 污染控制最常用的洁净服装系统一般由连体服、长筒靴、防护手套、头罩、护脸及护眼组成。服装系统既保护人员也保护工艺与产品，因此，所用材料必须满足：穿着舒适同时又在穿戴者与其所处环境之间起到充分得屏障隔离作用、耐洗耐处理、性能合适，含有防静电纤维以减少静电危害。

 

19、洁净清洗工场(Cleanroom Laundry): 洁净服在使用中将会受到污染。可重复使用的洁净服必须进行洁净清洗。根据美国环境科学与技术学会推荐的有关服装系统的规程 IEST – RP – CC – 003 《洁净室 和受控环境服装系统要 求》，洁净服的洗涤及随后的包装必须在洁净室内进行。该洁净室的洁净度应等于或好于穿着洁净服进行工作的洁净室。同时，洁净服的清洗材料和用水都是特别的专用的，其工序参数等技术指标的设定都能够保证避免一般清洗方式对其相关洁净度和防静电( Anti-Electrostatic Discharge) 性能造成的损害，延 长了防静电洁净服的使用寿命。清洗后的洁净服须进行洁净度 Helmke Drum 滚筒测试和防静电 ESD 性能的测试。

 

20、洁净服装的更换频度，随洁净室的使用状况及需要的防护水平而有所不同。通常地，生产的敏感程度越高，服装更换频度和清洗频度越高。美国环境科学与技术学会推荐规程 IEST – RP – CC – 003.2 《洁净室和受控 环境服装系统要求》建议，ISO5级(100级)的洁净服为每天更 换一次。

 

21、美国环境科学与技术学会推荐的有关服装系统的规程有：IEST – RP – CC – 003 《洁净室 和受控 环境服装系统要求》、 IEST – RP – CC – 004《洁净室和受控 环境用抹布材料评 估》、IEST – RP – CC – 005《洁净室和受控 环境用手套和指套》、IEST – RP – CC – 006 《洁净室测试》。